JCTechnoloies 제품소개

Vacuum Handling System

Vacuum Handling System

제품명
Sorters for 300/450mm Wafer
스펙1
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스펙2
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스펙3
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300mm Wafer Sorter

RECIF Technologies의 최신 COMPACT G5 + 시리즈는 300mm 실리콘 Wafer 분류를 위한 표준 솔루션입니다.
G5+는 핸들링 로봇에 내장된 Alignment/OCR 기능으로 인해 빠른 처리량을 제공합니다.
End Effector의 독보적인 ACT* 를 통해 탁월한 청결성과 높은 안전성을 보장합니다.
단일 로봇 분류장치 중에서 최소설치공간 및 최대처리량과 함께 7nm 이상의 공정을 위한 최고의 솔루션을 제공합니다.
* ACT: Advanced Contact Technology


01. Advanced PWP front face performance < 0.0049 @ 26nm**

   ** Wafer당 1000사이클 테스트 기반 - 툴 구성, 클린룸 환경 및 FOUP/ FOSB type이 정의된 경우

02. End effector: 기본구성으로 3점 후면 ACT를 포함

03. ISO 클래스 1 mini-environment

04. SEMI300 표준 준수

05. 2 또는 4 Load Ports 구성

06. SEMI 규격의 FOUP/ FOSB types 호환

07. Automated hidden time mapping

08. 옵션 처리기 기능을 위한 측면 케이스